1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
文献综述课题背景掩模电解加工是微细电解加工的一种。
微细电解加工是指在微细加工范围内，应用电解加工得到高精度、微小尺寸零件的加工方法。
掩膜微细电解加工由光刻技术与电解加工技术相结合，加工工件尺寸可达到微米级，甚至是亚微米级。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
本课题研究的问题为适用于大面积掩膜电解加工的复杂流道设计。
初步设计大面积tmecm流道，建立掩膜电解加工过程电场、流场耦合模型,利用comsol软件对多物理场进行数值模拟仿真,得到加工间隙内电解液电流密度、流速和压力等参数的情况，分析并依此改进设计的模型。
拟采用的手段：1)参考相关文献，学习建模仿真软件的应用，熟悉单物理场的仿真，初步学习多物理场耦合的操作。
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