一种MEMS谐振器研究设计开题报告

1. 研究目的与意义

课题研究的现状及发展趋势：

在国家政策的大力支持下，国内mems行业的研发与生产体系不断完善，各研发与生产环节的实力整体提升。各类产业园区和研究平台为完善国内mems行业的研发体系提供了基础。专业的晶圆制造和封装领域的企业逐渐加大对mems业务的投入，并与公司一起开发了mems产品相应生产环节的制造加工工艺。我国mems行业研发和生产体系不断完善，为国内mems行业的发展提供了良好的发展环境。

从我国mems市场结构来看，过去mems主要应用在家电及消费领域，占比在50%以上，现在规模依然在持续扩大，同时包括工业、汽车、医疗等新兴领域不断加速发展。

2. 研究内容和问题

研究内容：设计一个mems谐振器，mems谐振器具有许多优点，功耗低、体积小、成本低、可与集成电路兼容优点。目前mems谐振器在全球市场的规模很大，对mems谐振器的研究优化设计有重要的意义以及巨大的推广价值。但由于需求的不断提高，设计出更好的mems谐振器成为当前的必要任务。

预计解决的难题：

利用软件进行三维建模并进行仿真、进行对参数的优化，进行工艺流程设计。

3. 设计方案和技术路线

研究方法：

1、文献资料：利用查阅资料、上网等途径清楚了解mems谐振器；

2、模拟法：根据hfss软件一个mems谐振器的模型，并通过模型来间接研究原型；

4. 研究的条件和基础

基于微机电系统原理、设计和分析，射频等方面的专业知识，还需要掌握mems谐振器、hfss软件方面的知识。

硬件条件：hfss仿真软件。

软件条件：指导老师渊博的知识。